産総研ら、2nm以降のロジック半導体の高性能化を実現する技術 http://okane.robots.jp/2023/02/13/%e7%94%a3%e7%b7%8f%e7%a0%94%e3%82%89%e3%80%812nm%e4%bb%a5%e9%99%8d%e3%81%ae%e3%83%ad%e3%82%b8%e3%83%83%e3%82%af%e5%8d%8a%e5%b0%8e%e4%bd%93%e3%81%ae%e9%ab%98%e6%80%a7%e8%83%bd%e5%8c%96%e3%82%92/