東大、次世代パワーエレクトロニクス用材料「AlGaN」の安価/高品質な製造手法を開発 http://okane.robots.jp/2022/07/05/%e6%9d%b1%e5%a4%a7%e3%80%81%e6%ac%a1%e4%b8%96%e4%bb%a3%e3%83%91%e3%83%af%e3%83%bc%e3%82%a8%e3%83%ac%e3%82%af%e3%83%88%e3%83%ad%e3%83%8b%e3%82%af%e3%82%b9%e7%94%a8%e6%9d%90%e6%96%99%e3%80%8calgan/